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為什么中國研發(fā)不出7nm的EUV光刻機?有3個原因

IP屬地 中國·北京 編輯:沈如風 科技plus 時間:2025-05-16 17:31:08

大家都清楚,EUV光刻機是當前最先進的光刻機技術,可以用于7nm及以下芯片的制造,采用13.5nm波長的極紫外線,售價幾億美元一臺。

而這樣的EUV光刻機,目前也只有荷蘭的ASML一家能夠制造,像日本的Cana、Nikon,以及中國的上海微電子,都無法制造。

所以這就導致我們制造7nm及以下工藝時候時,被光刻機卡了脖子了。

那么問題就來了,為何EUV光刻機,只有ASML一家能夠制造出來,而我們研發(fā)不出來呢?原因到底出在哪里?

其實仔細分析起來,有三個方面的原因。

一、起步晚10年,中間又停了10多年研發(fā)。

不說EUV,就說最開始的光刻機發(fā)展,從步進式開始,中國就落后美國十年以來,后來有一段時間,中國更是涌現了了“造不如買”的思源,導致國產光刻機的研發(fā),又停步了十多年。

而光刻機技術是一代一代積累的,從干式到浸潤式,再到EUV,一步一臺階,就像修高樓一樣,是先打地基,再從第一層,慢慢的修到第100層。

如果你前面的地基都沒有打好,就想直接修50層,修100層,這現實么?所以還得從地基打起,慢慢修上去,前面的課缺了,就得補。

二、技術封鎖

EUV光刻機的技術,其實是美國最早研發(fā)出來的,但美國研發(fā)出原型之后,將一整套理論和技術,交給了ASML,讓ASML來研發(fā)。

美國看來,造光刻機是苦活累活,讓ASML干得了,自己就用現成的,反正ASML也是自己控制的,美國還讓英特爾、臺積電、三星等投資ASML,做強做大EUV市場。

而ASML,拿到技術后,拿到資金后,申請了眾多的專利,還壟斷了元件供應市場,與一些供應鏈簽訂獨家協(xié)議,將核心技術、核心元件,控制在自己手中。

而一臺EUV光刻機,牽涉到幾十萬零件,幾千家供應鏈,有些供應鏈甚至全球僅此一家,一旦被ASML綁定了,其它企業(yè)就無法合作了。

你可能說會自己重建一套唄?但是想要自己全部重建一套供應鏈,這是不現實的,因為市場就這么大,就夠一家企業(yè)吃飽,重建供應鏈的后果,是供應鏈根本就吃不飽,活不下來,誰愿意干這么事?所以供應鏈也是關鍵之一。

三、和生態(tài)息息相關

光刻機是用來制造芯片的,光刻機的調整改進,必須要進入車間,與晶圓廠一起試驗研究。

而目前我們的芯片制造技術什么樣了?大家都懂的吧,ASML與英特爾、臺積電、三星等都是合作關系,生態(tài)都是相輔相成的。

而我們呢,就算制造出來了,也沒有一個合適的測試廠,所以這也是原因之一。

可見,要制造出EUV光刻機,可不是簡單的某一點突破就行,需要全方面的突破,而我們目前的水平,還在干式光刻機階段,之后還有浸潤式光刻機,再到EUV光刻機,代差還有好幾代,路還有點長,要有一點耐心,這東西的突破,真不是一朝一夕的事。

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