12月5日,據陜西建工消息,近日由陜建七建集團承建的8英寸高性能特色工藝半導體芯片生產線項目正式通線投產,這是我國在西北地區布局建設的首條8英寸高性能特色工藝半導體生產線。該項目投產,標志著陜西在高端半導體制造領域取得重大突破,將為我國功率半導體國產化替代注入強勁動能。
項目位于西安高新綜合保稅區內,總建筑面積約17.39萬平方米,由生產廠房、生產調試廠房、綜合動力站、特氣站、硅烷站及各類庫房等17棟單體組成,項目建成后將主要服務于技術密集型的半導體產業,對于提升陜西省半導體產業的競爭力和聚集力具有重要意義。
施工中,為了滿足電子無塵潔凈廠房的生產要求,此次建設的廠房為高潔凈度生產廠房,核心生產區域可達“十級”潔凈度(ISO 1級)潔凈度。所謂“十級(ISO 1級)”潔凈度,即代表空氣粒子濃度0.1μm濃度≤10個/m3,0.2μm濃度≤2個/m3。這是潔凈度的最高等級,比醫院最高等級手術室對潔凈度的要求提高了100倍。同時,項目廠房建設采用了華夫板結構面積達14000余平方米,高低偏差嚴格控制在2毫米內,以確保生產設備的安裝精度。
在項目建設中,為了滿足后期半導體設備,能夠更便捷地進行移動與更換,項目房蓋鋼桁架跨度較大,單跨跨度達到43.2米和46.8米,整榀桁架重達140噸,項目團隊采取了有效的安全技術措施,將上樓廠房劃分為4個施工段,每個施工段配合2臺50噸汽車吊進行上樓面拼裝,大大提高了施工效率,共計4000多噸的鋼結構,僅用一個月就完成了施工。





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