10月23日，2023年度上海市科學(xué)技術(shù)獎勵大會在上海展覽中心舉行，表彰為國家、為上海科技事業(yè)和現(xiàn)代化建設(shè)作出突出貢獻(xiàn)的科技工作者。萬業(yè)企業(yè)（600641.SH）旗下上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司（以下簡稱“凱世通”）聯(lián)合重點(diǎn)應(yīng)用企業(yè)共同完成的“離子注入機(jī)技術(shù)與應(yīng)用產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目榮獲上海市科技進(jìn)步獎一等獎。凱世通副總經(jīng)理、首席技術(shù)官夏世偉作為項(xiàng)目第一完成人出席大會并登臺領(lǐng)獎。

凱世通表示，此次獲獎項(xiàng)目所研發(fā)的低能大束流離子注入機(jī)系列設(shè)備是制造邏輯芯片、DRAM存儲芯片、功率器件、CIS芯片的核心設(shè)備，設(shè)備性能與穩(wěn)定性表現(xiàn)卓越，實(shí)現(xiàn)了集成電路重大裝備產(chǎn)業(yè)化突破。

針對離子注入實(shí)際生產(chǎn)過程中亟需突破的關(guān)鍵工程技術(shù)問題，凱世通創(chuàng)新構(gòu)建了包括基礎(chǔ)研究和應(yīng)用技術(shù)在內(nèi)的“通用平臺+關(guān)鍵技術(shù)模塊+系統(tǒng)集成+應(yīng)用技術(shù)”完整技術(shù)體系，形成了一系列高價值的自主知識產(chǎn)權(quán)成果，包括成功解決了芯片制造中低能量條件下的超大劑量注入問題，降低了制造成本；完成了顆粒污染源頭控制技術(shù)，大幅提高了良率，取得重要工藝突破等。

目前，凱世通已打造出多款離子注入機(jī)標(biāo)桿項(xiàng)目，在國內(nèi)主流12英寸晶圓廠實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化并收獲了批量重復(fù)訂單。隨著產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程加快，凱世通持續(xù)提升產(chǎn)能，增強(qiáng)服務(wù)客戶能力。

夏世偉表示，此次獲獎是凱世通研發(fā)團(tuán)隊(duì)辛苦付出、持續(xù)拼搏的結(jié)果，凱世通堅(jiān)持正向設(shè)計(jì)、創(chuàng)新突破，緊密結(jié)合世界前沿科技與產(chǎn)業(yè)需求，持續(xù)創(chuàng)新推動離子注入機(jī)原創(chuàng)性、引領(lǐng)性科技攻關(guān)，不斷強(qiáng)化技術(shù)優(yōu)勢，持續(xù)為客戶提供性能卓越、穩(wěn)定可靠、降本增效的先進(jìn)設(shè)備和工藝解決方案，努力服務(wù)國家集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

資料顯示，上海市科學(xué)技術(shù)獎由上海市人民政府統(tǒng)一設(shè)立，是上海市深入實(shí)施科教興國戰(zhàn)略、人才強(qiáng)國戰(zhàn)略、創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略，服務(wù)高水平科技自立自強(qiáng)，加大對科學(xué)規(guī)律的第一發(fā)現(xiàn)者、技術(shù)發(fā)明的第一創(chuàng)造者、創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)的第一開拓者、創(chuàng)新理念的第一實(shí)踐者的獎勵。