最近，國內一家半導體設備廠商可謂吊足了公眾的胃口。

這家名為深圳市新凱來技術有限公司（下稱“新凱來”）的企業成立于2021年，由深圳市國資委實控。在10月10日召開的“2025灣區半導體產業生態博覽會”新聞發布會上，深圳市發展改革委主任郭子平曾提及新凱來及其子公司，表示“每一個子公司在這次的展會中都會讓大家有意想不到的驚喜，請允許我賣個關子”。這一度引發外界關于新凱來會否推出光刻機的猜測。

新凱來進入公眾視線可以追溯到半年前，今年3月底，新凱來在上海半導體設備展推出包括刻蝕產品、擴散產品、薄膜產品及物理量測產品、X射線量測產品、光學量檢測產品在內的6大類31款半導體設備。當時公司相關負責人曾表示：“我們的工藝設備可以使用非光學技術來解決一些光刻問題。”

外界期待的光刻機并未在此次博覽會亮相，不過從新凱來帶來的“驚喜”中仍然可以看到國內半導體設備產業鏈的突破。

圖為光刻機（資料圖/圖蟲創意）

驚喜是什么？

其實，新凱來從未對外宣布涉足光刻機業務，新凱來此次帶來的“驚喜”集中在示波器、EDA領域，這也與此前新凱來相關子公司的“預告”相符。

在此次博覽會期間，新凱來子公司萬里眼正式發布超高速實時示波器。示波器是用來測量和顯示電信號波形的電子測試儀器，將肉眼看不到的電信號變換成看得見的圖像，萬里眼CEO劉桑稱其為“巨龍的眼睛”。

目前，高端示波器帶寬達到60GHz（千兆赫茲）以上，甚至高達上百GHz，但是國內示波器帶寬多在20GHz以下。受西方國家封鎖影響，中國無法向海外公司購買帶寬60GHz以上的示波器。

劉桑介紹，此次發布的示波器擁有90GHz的測試帶寬，可以面對112Gbps，甚至224Gbps的高速信號，清晰捕捉每一處波形細節，真實還原信號快速升降，加速光電領域芯片的研發迭代。這款產品可將國產示波器性能提升500%，實現多代產品的跨越，可應用于半導體行業、6G通信、光通信、智能駕駛等領域。

萬里眼發布的新一代超高速實時示波器（每經記者 王晶 攝）

而新凱來旗下的另一家子公司啟云方發布了兩款自主研發的EDA。在半導體行業中，EDA是一系列從設計到制造的軟件工具的統稱，涵蓋了功能設計、布線、驗證等環節。目前，新思科技（Synopsys）、楷登電子（Cadence）和西門子三家公司占據全球市場份額超過七成。

啟云方電子工程EDA BU（事業部）總裁袁夷介紹，無論是在功能還是性能方面，兩款EDA都跟業界標桿水平持平。據他介紹，國外的軟件基本是串行作業，而啟云方采用了并行作業的方式，可以讓100個工程師同時畫一張圖，極大地提升了工作效率。整體來看，通過這種軟件并行協同設計的模式可以將產品硬件開發周期縮短40%。

袁夷表示，一些企業已經在使用該產品，從客戶反饋來看，可平滑替換國外同類軟件，歷史數據可以兼容。

國產設備多點突破

7nm（納米）及以下高端制程芯片的制造，普遍依賴荷蘭公司阿斯麥（ASML）制造高端芯片的EUV（極紫外）光刻機。因此提及半導體設備，外界習慣于聚焦光刻機。

目前，上海微電子裝備（集團）股份有限公司用于制造90納米芯片的干式DUV（深紫外）光刻機已經實現量產，其28納米浸沒式DUV光刻機也進入產品驗證階段，但EUV（極紫外）光刻機仍處于預研階段。

其實，半導體設備產業涉及眾多環節，新凱來子公司這次帶來的驚喜，雖然并非為外界所熟知的光刻機，但同樣在國產半導體設備的薄弱環節有新突破。

民生證券研報稱，我國在去膠、清洗、刻蝕設備方面國產化率較高，在CMP、熱處理、薄膜沉積上近幾年國產化突破明顯，而在量測、涂膠顯影、光刻、離子注入等設備上，仍較為薄弱。

示波器就可以被歸入量測設備，在這一領域，國內廠商與國外廠商依然存在差距，比如為檢查每一步制造工藝后晶圓產品的加工參數是否達到設計要求或者存在影響良率的缺陷，就需要使用前道量檢測設備。有相關領域資深人士向《中國新聞周刊》解釋，這需要納米級檢測，納米級相關設備基本被國外公司壟斷，國內公司處于起步階段，業內將這種頂級的光學檢測設備稱為“小光刻機”，從光源、鏡頭等層面都需要依靠自主研發取得突破。

從新凱來今年數次帶來“驚喜”不難看出，國內半導體設備產業正在多點突破。

新凱來今年已數次帶來“驚喜”（資料圖）

有國內半導體設備初創企業負責人告訴《中國新聞周刊》，2019年國內著名半導體設備廠商中微公司上市，之后國內半導體設備產業開始出現“翻天覆地”的變化，比如薄膜沉積領域的拓荊科技、微導納米等都在近年上市。“如今國內半導體設備廠商不會再經歷中微公司那樣比較長的培育期，因為當時國產替代的市場還不成熟。”

這位負責人也是近年從美國歸國創業，他明顯感受到國內的追趕節奏在加快。“我在博士畢業后進入半導體設備行業，國外公司在擁有壟斷地位的情況下往往會細細打磨一款產品。但是國內半導體行業的做法是，一方面要跟上生產像28nm這樣成熟制程芯片所需的設備，另一方面也要同步突破生產先進制程芯片所需的設備。這種‘并行’的策略提升了工作節奏，我自己也在適應。”

記者：陳惟杉

編輯：閔杰