國(guó)產(chǎn)高端光刻機(jī)關(guān)鍵突破!芯上微裝首臺(tái)350nm步進(jìn)光刻機(jī)正式發(fā)運(yùn)
國(guó)產(chǎn)高端光刻機(jī)再突破:上海芯上微裝首臺(tái)350nm步進(jìn)光刻機(jī)發(fā)運(yùn)
標(biāo)志著中國(guó)高端半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)邁入新階段。
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