人民財訊11月26日電，11月25日，上海芯上微裝科技股份有限公司（AMIES）再傳捷報：公司自主研發的首臺350nm步進光刻機（AST6200）正式完成出廠調試與驗收，啟程發往客戶現場，標志著我國在高端半導體光刻設備領域再次實現關鍵突破。
芯上微裝首臺350nm步進光刻機正式發運 國產高端光刻設備領域再次實現突破
IP屬地 中國·北京 證券時報 時間：2025-11-26 12:21:23
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