環球網

10月28日，在“新天工開物——科技成就發布會”科學儀器專場，聚焦我國科學儀器領域自主創新成就，集中發布了由中國儀器儀表學會推薦的太空生命科學儀器、無液氦亞3K低溫掃描探針顯微鏡、芯片陶瓷封裝基板視覺檢測技術三項科學儀器領域的創新科技成果。

中國科學院院士、發展中國家科學院院士高鴻鈞表示：“我國的科學儀器，從零基礎到跟蹤模仿，到現在部分高端儀器并跑的水平，經歷了非常復雜艱難的歷程。近年來我國與國際頂尖水平差距也越來越小，追趕的速度非常令人鼓舞。”

太空生命科學儀器：打造空間生命研究的“中國平臺”??

太空生命科學儀器是支撐我國空間站生命實驗的核心裝備。中國科學院上海技術物理研究所發布的“太空生命科學儀器”，構建了以“密閉生保支持+AI驅動原位觀測+自動化精準操控”為核心技術鏈的高功能密度集成一體化實驗平臺，實現并推動了空間特殊環境和航天器嚴苛工程約束條件下，空間生命科學前沿探索和系統研究的發展。支撐了我國迄今80%以上的空間生命科學任務。

中國科學院院士、中國醫學科學院學術咨詢委員會學部委員趙國屏認為，該儀器設備為發現生命科學新現象、獲得生命規律新認知、發展新型生物技術等研究提供了技術途徑和解決方案，填補了國內空間生命科學研究實驗系統的空白。

中國科學院上海技術物理研究所二級研究員、博士生導師張濤作為發布人，分享了團隊通過攻克太空細胞培養、構建密閉水生生態系統的案例，展示了該項目在生物再生生命保障、長期生態穩定性控制、微重力-亞磁復合環境構建、多模態自主顯微成像集成等系統性技術創新。

無液氦亞3K低溫掃描探針顯微鏡：創新高端科研儀器的“中國方案”?

掃描探針顯微鏡是納米科學研究的重要工具，是典型高端科學儀器，在物理、材料、化學、量子科技等領域都有著重要的應用。然而，我國高端掃描探針顯微鏡系統長期依賴進口。中國科學院物理研究所發布的“無液氦亞3K低溫掃描探針顯微鏡”，采用原創遠端液化制冷方式，實現了無需消耗液氦，僅使用少量氦氣即可長時間穩定維持3K以下的低溫環境，主要性能指標優于國內外同類型設備，達到國際領先水平。

高鴻鈞院士表示：“這一突破顯著提升了我國在低溫掃描探針領域的技術水平，推動了我國高端科學儀器產業的創新發展，為更多關鍵設備的自主創新探索出了一條切實可行的路徑。”

目前，該項成果已成功實現產業化，在國內眾多高校得到了推廣和應用，已產出多項前沿成果。據中國科學院物理研究所納米物理與器件實驗室副主任、博士生導師郇慶介紹，氦是不可再生資源，無液氦制冷技術已成為未來發展的重要方向，然而，掃描探針顯微系統（SPM），因其對震動水平的嚴苛要求，使得無液氦閉循環制冷技術在該領域的應用仍面臨諸多挑戰。研發團隊另辟蹊徑地提出了“分離式”遠端制冷方案，配合多項前沿技術手段，通過堅持不懈的自主科研攻關，實現了該高端科研儀器創新的“中國方案”，為我國相關前沿應用領域提供了自主可控的尖端研究工具。

芯片陶瓷封裝基板視覺檢測技術：賦能先進封裝缺陷檢測的“火眼金睛”

陶瓷封裝基板是為芯片提供物理支撐和電氣連接的核心部件，不僅能夠承載、保護芯片，為芯片散熱、供能，還是與其他電子器件連接的通道。受限于缺陷樣本少、缺陷種類復雜，如何在尺寸、外觀及形態變化多樣的陶瓷封裝基板上，快速、精準地檢測到微米級甚至百納米級的缺陷，對現有算法的精度、泛化性和通用性提出了巨大挑戰。東北大學團隊發布的“芯片陶瓷封裝基板視覺檢測技術”，結合人工智能、計算機視覺、工業軟件、智能制造等前沿科技，實現了對微納米級缺陷的智能識別與精準分類。

中國工程院院士、機器人與智能系統全國重點實驗室主任于海斌評價稱，該技術“填補了國內陶瓷封裝基板領域的行業空白。該系列檢測裝備和智能制造系統的成功研制和應用部署，顯著提高了芯片陶瓷封裝基板制造的良品率和智能化水平，有效提高了我國集成電路先進封裝產業的高質量發展。”

東北大學信息化建設與網絡安全辦公室主任、軟件學院教授于瑞云在分享該項目產業化進展時強調，團隊通過構建十萬級樣本數據集，成功研發了發“青闕”——工業產品表面缺陷檢測大模型與“玉瑕”——缺陷樣本生成大模型，在智能缺陷檢測和數據生成方面取得了全面突破。此外，團隊自主設計研制了芯片陶瓷封裝全系列關鍵工藝缺陷檢測設備與生產管控系統。目前，相關成果已在國內多家頭部企業成功應用部署，顯著提升了良品率與產線智能化水平。

此外，現場還舉辦了國家科技傳播中心科技成就展數字展品庫入藏儀式。（青山）