IT之家 8 月 14 日消息，據杭州日報報道，近日，位于杭州城西科創大走廊的浙江大學成果轉化基地傳來重大喜訊：全國首臺國產商業電子束光刻機“羲之”已進入應用測試，其精度與國際主流設備相當，標志著我國量子芯片研發領域迎來了具有自主知識產權的“中國刻刀”。

在測試現場，浙江大學余杭量子研究院的研發團隊正緊張地進行著各項測試工作。這臺外形類似大型鋼柜的設備，其電子顯示屏上實時顯示著各項參數。“這不是普通的機器，而是一支能在頭發絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’！”團隊負責人表示，“羲之”是依托省重點實驗室自主研發的新一代 100kV 電子束光刻機，目前已正式投入市場。

IT之家從報道獲悉，“羲之”以東晉書法家王羲之的名字命名，其“毛筆”則是高能電子束，能夠在芯片上刻寫電路。該設備專攻量子芯片和新型半導體研發的核心環節，精度達到 0.6 納米，線寬 8 納米，且無需掩膜版即可靈活修改設計。這種靈活性使其特別適合芯片研發初期的反復調試，如同用納米級毛筆在芯片上精準作畫。

此前，由于國際出口管制，國內頂尖科研機構如中國科學技術大學、之江實驗室等長期無法采購此類設備。而“羲之”的成功落地，有望打破這一局面。據報道，“羲之”的定價低于國際均價，目前已與多家企業及科研機構展開接洽。