據(jù)報(bào)道，河南東微電子材料有限公司宣布其自主研發(fā)的光刻機(jī)用直線電機(jī)、光源、光纖、磁座等關(guān)鍵零部件正式通過中芯國際和長鑫存儲的嚴(yán)格認(rèn)證。這標(biāo)志著中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化進(jìn)程中取得重要突破。2021年12月，國家五部門聯(lián)合發(fā)布的《重大技術(shù)裝備和產(chǎn)品進(jìn)口關(guān)鍵零部件、原材料商品目錄（2021年版）》明確將光刻機(jī)用直線電機(jī)列為關(guān)鍵“卡脖子”項(xiàng)目。東微電子組建技術(shù)攻堅(jiān)團(tuán)隊(duì)，歷經(jīng)多年研究，對標(biāo)國際頂尖水平，解決了國產(chǎn)痛點(diǎn)。直線電機(jī)是光刻機(jī)運(yùn)動平臺的核心零部件，其性能直接影響定位精度和運(yùn)動穩(wěn)定性，隨著芯片制程進(jìn)入納米時代，直線電機(jī)成為唯一選擇。東微電子的這一突破有助于打破國外技術(shù)壟斷，推動中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展。