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我國科學家國際首創 8 英寸硅基氮極性氮化鎵襯底

IP屬地 中國·北京 編輯:鐘景軒 IT之家 時間:2025-03-24 10:01:23

3 月 24 日消息,九峰山實驗室官方公眾號于 3 月 22 日發布博文,宣布以氮化鎵材料為核心,國際首創 8 英寸硅基氮極性氮化鎵襯底(N-polar GaNOI)、創新推出全國首個 100nm 高性能氮化鎵流片 PDK 平臺,并實現了動態遠距離無人終端無線能量傳輸完成示范驗證。

項目背景

作為第三代化合物半導體材料的代表,氮化鎵(GaN)憑借其優異的物理特性和廣闊的應用前景,正在全球范圍內掀起一場產業技術革命。

你或許已在消費電子產品里見過它。小巧高效的 GaN 充電器讓手機、筆記本電腦等設備充電速度大幅提升的同時體積變小。這只是它釋放潛力的眾多場景之一。

憑借其高頻率、高功率和高效率的特性,GaN 正在成為眾多行業的“游戲規則改變者”。GaN 器件能在極端環境、在更高的頻率范圍下工作,同時提供更大的輸出功率和更高的能量效率,已成為無線通信、衛星通信、雷達與導航、智慧醫療、物聯網等高端應用發展的核心驅動力,正在達到規模化應用的臨界點。

國際首創 8 英寸硅基氮極性氮化鎵襯底(N-polar GaNOI)

氮化鎵晶體結構的極性方向對器件性能和應用有著重要影響,根據晶體生長的極性方向,主要分為氮極性氮化鎵(N-polar GaN)和鎵極性氮化鎵(Ga-polar GaN)兩種相反的極化類型。已有研究表明,在高頻、高功率器件等領域,氮極性氮化鎵比傳統的鎵極性氮化鎵技術優勢更明顯。

九峰山實驗室 8 英寸硅基氮極性氮化鎵襯底

九峰山實驗室此技術成果,是全球首次在 8 英寸硅襯底上實現氮極性氮化鎵高電子遷移率功能材料(N-polar GaNOI)制備,打破了國際技術壟斷。

(a) 九峰山實驗室 8 英寸 N 極性 GaN 晶圓實物照片,(b) N 極性 GaNOI 截面透射電鏡照片

其主要突破體現在以下三個方面:一是成本控制,采用硅基襯底,兼容 8 英寸主流半導體產線設備,深度集成硅基 CMOS 工藝,使該技術能迅速適配量產工藝;二是材料性能提升,材料性能與可靠性兼具;三是良率提升,鍵合界面良率超 99%。以上突破為該材料大規模產業化奠定了重要基礎。

全國首個 100nm 高性能氮化鎵流片 PDK 平臺

援引博文介紹,PDK(Process Design Kit,工藝設計套件)是半導體制造中不可或缺的工具包。它為芯片設計者提供工藝參數、器件模型、設計規則等關鍵信息,快速實現從電路設計到實際制造的轉化,是連接芯片設計與制造的“橋梁”。

九峰山實驗室發布的這款 PDK 是國內首個 100 nm 硅基氮化鎵商用工藝設計套(PDK),已獲得多項自主知識產權。其核心技術優勢體現在:

跨代際開發

為滿足高通量衛星通信等場景對更高傳輸速率和更大帶寬的需求,跳過 150 nm 以下節點,采用 100 nm 柵長技術,顯著提升器件的截止頻率,使其能夠覆蓋 DC 到 Ka 波段的毫米波頻段應用。

高性能

通過外延和器件結構設計,有效降低電流崩塌,減小接觸電阻,提高器件效率,這一系列技術突破使應用終端在功耗和功率密度方面得到顯著提升。

低成本

硅基氮化鎵技術既結合了氮化鎵材料的高頻、高功率和高效率性能優勢,又兼具硅基價格優勢,未來,該技術可向 8 寸及以上大尺寸拓展,與 CMOS 工藝兼容,實現成本的進一步降低。

20 米遠距無線傳輸能量

九峰山實驗室基于自主研發的氮化鎵(GaN)器件,成功構建起動態遠距微波無線傳能系統,并在 20 米范圍內實現對無人機的動態無線供能示范驗證。

該技術突破了傳統無線充電的距離限制,解決了接收端功率波動與能量轉換效率低的難題,為物流、農業、工業 4.0、智能家居等領域提供了創新性技術儲備,標志著我國在高頻高功率無線傳能領域的探索邁入新階段。

微波無線傳能是一種無線能量傳輸方式,它通過電磁波遠距離傳輸能量,具備構建全域能源網絡的巨大潛力。這項技術在多個領域具有潛在的應用價值,包括但不限于遠程充電、工業 4.0、空間太陽能電站系統、通信、物聯網、應急救災裝備能源保障、醫療等領域。

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