IT之家 11 月 24 日消息,日本產業技術綜合研究所(IT之家注:即產綜研、AIST)本月初宣布,該機構成功建設了日本境內首條支持最先進工藝的 12 英寸晶圓共享中試線,支持 GAA 全環繞柵極晶體管試制。
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在這一中試線平臺上,日本半導體供應鏈上下游企業可應用測試其自研設備 / 材料,進行對尖端工藝的適用性驗證,加速日本半導體產業研發進程,提升日本半導體設備與材料企業國際競爭力。
這條中試線由產綜研與 TEL、SCREEN、佳能合作建設,降低了日本企業和學術界進行先進工藝開發與測試的成本,同時保障了相關的知識產權安全。





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