12月3日消息,光刻設(shè)備制造商ASML近日在其官網(wǎng)紀(jì)念品商城推出了一款特別的產(chǎn)品——High NA EUV光刻系統(tǒng)TWINSCAN EXE:5000的樂高模型套裝。
該模型的定價為227.95美元,約合人民幣1653元。

這款樂高模型由ASML的員工兼樂高愛好者Rick Lenssen設(shè)計(jì),包含851個零件,尺寸為寬352mm、高99mm、深64mm,精確復(fù)刻了TWINSCAN EXE:5000的外觀。
High NA EUV光刻機(jī)是全球首款采用0.55NA數(shù)值孔徑的光刻機(jī),分辨率達(dá)到8nm,成像對比度比之前的NXE系列0.33NA EUV系統(tǒng)高出40%,支持2nm邏輯節(jié)點(diǎn)圖案化,單價高達(dá)3.5億歐元。
Rick Lenssen此前曾花費(fèi)2.5年時間(1.5年設(shè)計(jì)藍(lán)圖、1年實(shí)際組裝)用樂高積木復(fù)現(xiàn)了ASML的費(fèi)爾德霍芬主園區(qū),并推出過多款A(yù)SML主題的樂高套裝產(chǎn)品。






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