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Intel 18A芯片廠揭秘:已有4臺EUV光刻機 月產4萬片晶圓

IP屬地 中國·北京 編輯:周琳 快科技 時間:2025-12-25 22:08:13

快科技12月25日消息,Intel前不久發布了18A工藝,這是Intel四年五代工藝中最關鍵的一環,尤其是20A工藝已經取消的情況下。

按照以前的計算方式,18A工藝就相當于1.8nm工藝,理論上比臺積電當前最先進的2nm還要強一些,不過后者現在也沒有太多可信數據,就算18A密度不敵它,但總體上略好于3nm工藝應該沒問題。

18A工藝還有2大關鍵創新技術,一個是RibbonFET晶體管,這是Intel自己開發的GAA環繞柵極晶體管技術,一個是PowerVia背部供電技術,可改善以往正面布線的堵塞及壓降等問題,兩個技術加起來可以降低功耗,提升性能。

18A工藝主要在Intel位于亞利桑那州的Fab 52芯片廠生產,該工廠據悉已經安裝了至少4臺EUV光刻機,其中一臺是最先進型號NXE:3800E,每小時產能可達220片晶圓,其余3臺則是NXE:3600D型號,每小時產能160片晶圓。

Fab 52晶圓廠達到設計產能時,每周可生產1萬片晶圓,月產能就是4萬片晶圓,規模還是很大的,相當于臺積電在美國的Fab 21工廠一期及二期的總和。

Intel預計在亞利桑那州的園區最終部署至少15臺EUV光刻機,還包括下一代的High NA EUV光刻機,不過具體占比還是謎。

18A工藝的兩款產品是PC級的Panter Lake以及服務器級的Clearwater Forest,明年會大量上市,但是目前產能還是爬坡階段,良率依然是影響產品出貨及成本的關鍵。

Intel之前提到他們已經找到了符合業界標準的良率爬坡曲線,每月提升7%,但是要想達到最理想狀態的良率,可能要到2027年初了。

這就意味著CES展會上正式發布的Panter Lake筆記本不會便宜,搞不好跟之前的Lunar Lake一樣定位高端,此前Intel的采訪中也暗示會放棄一些低端市場。

標簽: intel 工藝 臺積電 亞利桑那州 良率 產能 型號 fab52 euv光刻機 工廠

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