21世紀經濟報道記者 陳歸辭 浙江衢州報道

半導體CMP（化學機械拋光）材料市場國產化進程正在加速。

CMP是半導體晶片表面加工的關鍵技術之一，CMP材料作為CMP過程中的關鍵材料，通過化學腐蝕與機械研磨的協同作用，去除晶圓表面多余材料，實現全局平坦化。CMP材料主要包括拋光液、拋光墊、鉆石盤、清洗液等。

浙江博來納潤電子材料有限公司（下稱“博來納潤”）成立于2022年，是一家專注于為半導體平坦化制程提供CMP材料整體解決方案的公司，擁有10余年CMP研發與產業化經驗，公司客戶包括天岳先進、爍科晶體、立昂微、有研硅、合晶硅、藍思、伯恩等。

“在國內半導體賽道，2020年前CMP材料高度依賴進口。國際貿易摩擦倒逼供應鏈自主，而國內集成電路產業向先進制程的躍遷，也內生出創新的需求。這種外部壓力與內部動力的雙重驅動，給我們帶來了創業與發展的契機?！辈﹣砑{潤副總張姝表示。

襯底端頭部客戶全覆蓋，芯片端啟動送測

“行業常說CMP材料是‘黑匣子技術’，因為CMP工藝實際運行的過程是在高溫高壓密閉的環境中發生的，很難對它進行實時監測?！睆堟硎尽?/p>

她指出，CMP產品的成功研發依賴于三大關鍵支柱：一是深厚的數據積累，二是緊密的客戶需求對接，三是覆蓋從拋光機到拋光液、拋光墊的系統工程建設。

因此，博來納潤的定位很清晰——成為CMP材料整體解決方案供應商?！拔覀兗茸瞿チ?，也做拋光液、拋光墊，這樣我們在解決CMP工藝問題上就有更多的抓手，來保證包含品或客戶的體驗更優。產品配套方面，我們從各類襯底到芯片制造的前道和后道，都配有產品?！?張姝表示。

在談及產品國際競爭力時，負責人以該公司碳化硅襯底產品為例指出，在同等條件下，該產品壽命可達同類進口產品的1.5至2倍?！拔覀円龅牟皇?0分的進口產品的國產化替代，而是‘超越式替代’?！?/p>

在市場占有率方面，該負責人透露，CMP材料的國產化進程正穩步推進，當前整體國產化率約為30%。在襯底端，博來納潤已打開局面，實現對國內頭部客戶的全面覆蓋；而在芯片端，產品剛開始進入頭部廠商的測試流程，預計測試周期將達約三年。

投資數億建設雙廠，衢州國資千萬元入股

目前，博來納潤已在上海設有1個運營中心，在杭州和衢州分別設有1個研發中心，并在衢州設有2個生產基地。

博來納潤在衢州投入建設了兩期項目，一期第一階段項目已于2023年9月投產，規劃產能為6,000噸集成電路用硅溶膠、半導體CMP拋光液、15萬平方米拋光墊材料；一期第二階段項目預計于今年底部分投產，第二階段項目規劃產能為18,000噸集成電路用硅溶膠、34,000噸半導體CMP拋光液、115萬平方米拋光墊材料。

張姝透露，一期項目建成達產后將形成年產4億元以上的產值規模。

今年10月底，博來納潤完成新一輪融資，衢州市產業基金投資博來納潤項目上千萬元。

“2022年正逢疫情時，我們在全國找落地點，當時最大的痛點就是想把技術快速轉化為產品，所以需要一個成熟的物理空間作為載體來推進產業化。”張姝稱，2022年11月17日其公司團隊第一次來衢州考察，一個月后的12月20日便簽訂了協議。

衢州為其提供了13000平方米的租賃政府廠房得以在2023年9月快速投產。“整個效率真的是非?？欤鑫覀兊念A期。”張姝表示，這為其公司贏得了提早1-2年量產的寶貴市場窗口期。

張姝稱，得益于衢州在土地、資金和政策等方面的支持，博來納潤在這兩年基本解決了產能規?；闹卮箅y題。下一步，其公司將加速全線產品的研發、送測和批量化生產，慢慢擴大市場占有率。“我們堅定了信心，要長期扎根衢州，深入推進產業化?！?/p>

在與本地產業生態的協同發展方面，張姝表示，博來納潤眾多上下游企業均聚集在衢州，當地產業鏈配套的建設非常好，這也是其最初選擇落地衢州的重要考量。博來納潤也作為前期的主要投入方，在衢州牽頭建立了一個集成電路材料概念驗證中心，旨在提升當地及周邊集成電路材料的測試反饋與研發效率，并有望借此增強衢州當地集成電路材料集群的吸引力和規模效益。