眾所周知,自從2020年以來,美國就限制EUV光刻機賣給中國。
后來這種限制越來越嚴格,被禁運的設備也越來越多,按照媒體的說法,美國的目標是鎖死我們的邏輯芯片工藝在14nm,DRAM內存在18nm,NAND閃存在128層。
在這樣的情況之下,國產廠商們紛紛努力,希望早日實現國產替代,突破美國的封鎖。

而這個國產替代,分為兩個部分,一方面是先進設備的突破,減少對國外的依賴。
另外一個方面,則是對成熟芯片的設備進行替代,據媒體的說法,有些國內芯片廠,甚至已經到了對設備上的零部件逐一排查的地步。
只要是國產設備能夠進行替代的,哪怕是性能差一點,可靠性差一點,也要替代掉,因為使用國外設備,就有可能被卡脖子的風險。

那么問題來了,目前國產替代,到底到了什么程度了?使用全套國產設備,究竟能夠生產多少納米的芯片?
從當前的情況來看,除了光刻機,我們應該已經實現了14nm芯片的全部自主化。
我們可以從晶圓制造,到前道工序,后道工序這三個主要環節來看。

晶圓制造這一塊,基本上沒什么問題,300mm的晶圓我們能夠制造,300mm晶圓,制造3nm、2nm都沒問題。
而前道工序最復雜,這里機的設備最多,也最關鍵,需要使用光刻機、刻蝕機、清洗機、離子注入等等設備。
這里的國產設備技術也是一樣,最先進的是國產刻蝕機,達到了3nm,而最落后的則是光刻機了,應該還在65nm,使用多重曝光技術之后,估計最高還不到28nm。
到于其它的設備,有些先進的達到了7nm,但基本上其實都達到了14nm左右。

而后道工序這里指的是封測這一塊,中國在封測領域一直處于國際領先水平,設備也大部分實現了國產化,按照專業人士的說法,使用國產設備,來封測7nm及以下的芯片,都沒太多問題。
可見,如果全部替換掉國外設備,采用全套國產設備,除了光刻機之外,應該是能夠達到14nm的,但使用國產光刻機,可能問題就比較大了,也許28nm都不一定。
所以接下來,國產光刻機的突破勢在必行,只要光刻機跟上,我們就沒那么在乎禁令了,如果能夠有國產EUV光刻機,那禁令就成廢紙了。



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