作者｜黃楠

編輯｜袁斯來

硬氪獲悉，睿勵(lì)科學(xué)儀器(上海)有限公司（以下簡稱「睿勵(lì)科學(xué)儀器」）近日完成數(shù)億元B輪融資，本輪融資由金石投資、招商致遠(yuǎn)領(lǐng)投，清控金信、河南資產(chǎn)、鼎青投資等資方跟投。

融資資金將用于高精度光學(xué)量檢測系列產(chǎn)品的研發(fā)和市場化推廣，豐富公司的產(chǎn)品矩陣，加速擴(kuò)大生產(chǎn)并加強(qiáng)公司的市場拓展和品牌建設(shè)等。

「睿勵(lì)科學(xué)儀器」成立于2005年，是一家專注于半導(dǎo)體前道工藝的量檢測設(shè)備公司，為國家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)、國家級(jí)專精特新“小巨人”，先后承擔(dān)兩個(gè)國家級(jí)“02專項(xiàng)”，具備全自主研發(fā)技術(shù)。公司總部位于上海浦東新區(qū)，其團(tuán)隊(duì)成員多來自全球前兩位量檢測設(shè)備企業(yè)和國內(nèi)知名光學(xué)技術(shù)公司，有18年產(chǎn)品開發(fā)和市場應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。

芯片量檢測設(shè)備可細(xì)分為檢測（Inspection）和量測（Metrology）兩大類。其中，量測指對(duì)晶圓電路上的結(jié)構(gòu)尺寸和材料特性進(jìn)行量化描述，包括薄膜厚度、關(guān)鍵尺寸、刻蝕深度、表面形貌等物理性參數(shù)的量測。檢測指對(duì)晶圓表面上或電路結(jié)構(gòu)中是否出現(xiàn)異質(zhì)情況進(jìn)行檢測， 如顆粒污染、表面劃傷、開短路等對(duì)芯片工藝性能具有不良影響的特征性結(jié)構(gòu)缺陷。

量檢測設(shè)備貫穿芯片制造的工藝過程，多被用于工藝過程質(zhì)量控制和保證產(chǎn)線良率。其中，隨著芯片結(jié)構(gòu)的復(fù)雜性增加帶來光刻層數(shù)變多，每次光刻工藝循環(huán)都會(huì)帶來多次量檢測需求。

近年來，隨著國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展和產(chǎn)業(yè)升級(jí)，對(duì)高端、精密的半導(dǎo)體設(shè)備需求不斷增加。量檢測設(shè)備也被認(rèn)為是位列刻蝕、薄膜沉積、光刻后的晶圓廠設(shè)備（WFE）第四大市場，其規(guī)模約占半導(dǎo)體設(shè)備市場的13%。

但長期以來，全球半導(dǎo)體量檢測設(shè)備市場呈國外頭部公司壟斷格局，中國半導(dǎo)體量測設(shè)備此前多依賴美國、日本、荷蘭、新加坡和韓國等進(jìn)口，國產(chǎn)化率僅約5%，是半導(dǎo)體設(shè)備中除光刻機(jī)外最低的類別，目前正面臨高端人才稀缺、技術(shù)壁壘高、量產(chǎn)難度大和核心零部件國外依賴度等多重挑戰(zhàn)。

關(guān)注到半導(dǎo)體行業(yè)和國產(chǎn)化替代的廣闊市場，「睿勵(lì)科學(xué)儀器」專注于光學(xué)技術(shù)，在高精度光學(xué)量測和檢測領(lǐng)域持續(xù)耕耘，提出自研算法模式、獨(dú)立設(shè)計(jì)的光學(xué)架構(gòu)，打破國際廠商壟斷，已在先進(jìn)制程工藝節(jié)點(diǎn)率先完成了介質(zhì)膜厚量測產(chǎn)品和明場缺陷圖形檢測產(chǎn)品的交付和大規(guī)模量產(chǎn)。

「睿勵(lì)科學(xué)儀器」部分產(chǎn)品圖

根據(jù)實(shí)際檢測，公司產(chǎn)品成熟度高，量產(chǎn)性能可匹配國外同類設(shè)備水平，可靠性驗(yàn)證超過10年，在各類客戶不同的生產(chǎn)工藝產(chǎn)線上都通過了大規(guī)模量產(chǎn)的驗(yàn)證。

目前，「睿勵(lì)科學(xué)儀器」的客戶涵蓋了邏輯代工、3D閃存、動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器、先進(jìn)封裝等領(lǐng)域，廣泛應(yīng)用于300mm、200mmm、150mmfab廠，出貨量超過數(shù)百臺(tái)。

硬氪了解到，「睿勵(lì)科學(xué)」每年研發(fā)投入比高達(dá)40%，本次融資完成后，預(yù)計(jì)將吸引更多高端人才加入，持續(xù)保持高強(qiáng)度的產(chǎn)品研發(fā)投入。公司于上海浦東建有生產(chǎn)基地，年產(chǎn)能超過150臺(tái)、滿產(chǎn)后可支持15億元的年產(chǎn)值。

投資方觀點(diǎn)：

金石投資表示，半導(dǎo)體設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基石，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展有賴于半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)和產(chǎn)品突破，量檢測是其中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。睿勵(lì)科學(xué)作為中國最早的一批量檢測設(shè)備公司，吸引了來自于國內(nèi)外的頂尖人才，堅(jiān)持技術(shù)創(chuàng)新，聚焦光學(xué)技術(shù)，我們相信睿勵(lì)科學(xué)將繼續(xù)保持技術(shù)和產(chǎn)品領(lǐng)先，幫助先進(jìn)制程實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代的突破和發(fā)展。

招商致遠(yuǎn)表示，半導(dǎo)體量檢測設(shè)備面臨巨大的市場空間和國產(chǎn)替代機(jī)遇，也具有很高的壁壘。招商致遠(yuǎn)看好半導(dǎo)體量檢測賽道，期待睿勵(lì)科學(xué)憑借優(yōu)秀的團(tuán)隊(duì)和多年的技術(shù)積累和量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，成為該細(xì)分賽道的領(lǐng)導(dǎo)者。