眾所周知,芯片工藝和光刻機(jī)類型,其實(shí)是一一對應(yīng)的。
比如普通干式DUV光刻機(jī),支持的最小芯片制程是65nm。然后到浸潤式DUV光刻機(jī),支持的最小芯片制程是7nm。
然后再是EUV光刻機(jī),用于7nm以下的芯片制造。EUV又分為普通EUV,High NA EUV、Hpyer NA EUV,這些都是對應(yīng)不同的芯片工藝。

而目前國內(nèi)的技術(shù),還在ArF光刻機(jī)這一階段,所以我們需要大量從國外進(jìn)口光刻機(jī),長期以來,主要是從ASML進(jìn)口。
之前美國一直不準(zhǔn)ASML銷售EUV光刻機(jī)給我們,后來又更改禁令,連浸潤式DUV光刻機(jī),也就是ArFi也不允許隨便賣給中國了。
所以,很多網(wǎng)友一直很擔(dān)憂,那就是國內(nèi)的浸潤式DUV光刻機(jī),夠不夠用,我們有沒有提前準(zhǔn)備,準(zhǔn)備了多少臺?

事實(shí)上,大家真不用擔(dān)心,早在2年前,我們就已經(jīng)預(yù)料到了這一天,這兩年以來,中國一直在努力的向ASML購買AiFi光刻機(jī)。
下圖是某機(jī)構(gòu)根據(jù)ASML的財(cái)報(bào)整理出來的數(shù)據(jù),顯示了從2021年1季度,到2024年二季度,中國從ASML買的ArFi光刻機(jī)的變化情況。

可以從看到,從2023年一季度開始,中國從ASML購買的ArFi光刻機(jī)就開始高速增長了。
根據(jù)ASML的報(bào)財(cái),可以分析出,2022年進(jìn)口數(shù)量25臺,均價(jià)6500萬歐元;2023年這一數(shù)字陡增到約62臺,均價(jià)超過7000萬歐元;2024年前2個(gè)季度進(jìn)口約42臺。
也就是說從2022年三季度,到2024年二季度,最近這2年時(shí)間,我們就從ASML購買了115臺EUV光刻機(jī),合計(jì)金額超過了80億歐元,也就是600多億人民幣。

如果全年無休,全速開啟,一臺浸潤式光刻機(jī),一小時(shí)可以處理250多塊12寸的晶圓,1天是6000多塊,一個(gè)月18萬塊,一年就是200多萬塊。
而100多臺ArFi光刻機(jī)如果全速運(yùn)行,全年無休,一年就是2億多塊,而中芯國際一年的產(chǎn)能,大約也就是800-1000萬片8寸晶圓的產(chǎn)能。
可見,國內(nèi)囤積的ArFi光刻機(jī)的實(shí)際產(chǎn)能,已經(jīng)是幾十個(gè)中芯國際的產(chǎn)能了,所以其實(shí)是足夠我們未來N年的擴(kuò)產(chǎn)使用的。
所以說,在ArFi光刻機(jī)這一塊,不需要擔(dān)心,我們接下來,要努力攻克EUV光刻機(jī),只要攻克了EUV光刻機(jī),那美國的禁令就真成廢紙了。





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