半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備是半導(dǎo)體制造設(shè)備的核心細(xì)分賽道之一，位列第四大細(xì)分領(lǐng)域，是保障芯片良率的核心支撐，更是半導(dǎo)體制造設(shè)備賽道的關(guān)鍵細(xì)分領(lǐng)域。其市場(chǎng)規(guī)模位列半導(dǎo)體設(shè)備第四大細(xì)分領(lǐng)域，貫穿晶圓制造、封裝測(cè)試等核心環(huán)節(jié)，從納米級(jí)缺陷檢測(cè)到關(guān)鍵尺寸量測(cè)，直接決定芯片性能與可靠性。每一代制程的微縮演進(jìn)，從14nm到7nm、5nm乃至3nm，都會(huì)對(duì)量檢測(cè)設(shè)備的精度、速度和靈敏度提出指數(shù)級(jí)增長(zhǎng)的要求，這種技術(shù)倒逼式升級(jí)，成為驅(qū)動(dòng)市場(chǎng)持續(xù)增長(zhǎng)的最強(qiáng)勁引擎。

量檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)穩(wěn)健增長(zhǎng)，日美仍是主流

2024年，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)復(fù)蘇態(tài)勢(shì)明朗，量檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)同步呈現(xiàn)穩(wěn)健增長(zhǎng)格局。全球市場(chǎng)層面，不同機(jī)構(gòu)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示規(guī)模區(qū)間集中在120.8億美元至168.8億美元之間，其中QYResearch調(diào)研數(shù)據(jù)為120.8億美元，預(yù)計(jì)2025-2031年復(fù)合年增長(zhǎng)率（CAGR）將達(dá)4.9%，2031年有望增至168.3億美元。增長(zhǎng)動(dòng)力主要來自三大核心方向：先進(jìn)邏輯芯片制程持續(xù)突破帶來的工藝控制需求、3DNAND存儲(chǔ)與高帶寬存儲(chǔ)器（HBM）領(lǐng)域的產(chǎn)能擴(kuò)張，以及AI芯片異構(gòu)集成、堆疊封裝等復(fù)雜結(jié)構(gòu)帶來的檢測(cè)難度升級(jí)。

尤其在AI產(chǎn)業(yè)爆發(fā)式增長(zhǎng)的背景下，HBM芯片市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)2025年將達(dá)120億美元，其封裝環(huán)節(jié)對(duì)高精度檢測(cè)設(shè)備的需求呈井噴態(tài)勢(shì)，進(jìn)一步打開市場(chǎng)增長(zhǎng)空間。

這一增長(zhǎng)趨勢(shì)與全球半導(dǎo)體制造設(shè)備整體市場(chǎng)的復(fù)蘇形成強(qiáng)烈呼應(yīng)。2024年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備出貨金額達(dá)1171億美元，同比增長(zhǎng)10%，其中前端晶圓加工設(shè)備與后端封裝測(cè)試設(shè)備均實(shí)現(xiàn)顯著增長(zhǎng)，為量檢測(cè)設(shè)備提供了廣闊的應(yīng)用場(chǎng)景。

值得注意的是，中國(guó)大陸已成為全球最大的量檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)，2017-2021年市場(chǎng)規(guī)模年復(fù)合增長(zhǎng)率高達(dá)31.74%，國(guó)內(nèi)晶圓廠的持續(xù)擴(kuò)產(chǎn)與國(guó)產(chǎn)化替代需求，正推動(dòng)中國(guó)市場(chǎng)成為全球量檢測(cè)設(shè)備增長(zhǎng)的核心引擎。

從市場(chǎng)結(jié)構(gòu)來看，半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備呈現(xiàn)明顯的細(xì)分領(lǐng)域分化。根據(jù)VSLIResearch的統(tǒng)計(jì)，檢測(cè)設(shè)備占比62.6%，是市場(chǎng)的主導(dǎo)板塊，包括無圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備、圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備、掩膜檢測(cè)設(shè)備等，直接關(guān)系到芯片制造過程中的缺陷篩查與良率控制；量測(cè)設(shè)備占比為33.5%，涵蓋三維形貌量測(cè)設(shè)備、薄膜膜厚量測(cè)設(shè)備、套刻精度量測(cè)設(shè)備等，聚焦于關(guān)鍵尺寸與工藝參數(shù)的精準(zhǔn)把控。

在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域，隨著碳化硅（SiC）等材料的廣泛應(yīng)用，無損檢測(cè)成為市場(chǎng)新需求，傳統(tǒng)化學(xué)腐蝕法的低效、破壞性弊端日益凸顯，推動(dòng)檢測(cè)技術(shù)向光學(xué)化、高速化升級(jí)。

全球市場(chǎng)格局呈現(xiàn)出典型的寡頭壟斷特征。美國(guó)科磊公司（KLA）通過持續(xù)并購(gòu)不斷完善技術(shù)和產(chǎn)品矩陣，在全球處于絕對(duì)主導(dǎo)地位，尤其在高端檢測(cè)領(lǐng)域占據(jù)核心話語權(quán)。此外，美國(guó)應(yīng)用材料、日本日立高科技、雷泰光電等企業(yè)憑借數(shù)十年的技術(shù)積累、嚴(yán)密的專利壁壘和深厚的客戶粘性，共同占據(jù)了全球90%以上的市場(chǎng)份額。

圖：量檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)主要由美國(guó)、日本企業(yè)壟斷

資料中科飛測(cè)招股說明書（2020年數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，僅用于市占參考）

在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)，這種壟斷格局更為顯著，科磊公司的市場(chǎng)占比超過50%，國(guó)內(nèi)廠商在技術(shù)性能、品牌認(rèn)可度等方面仍面臨較大差距。

圖：國(guó)內(nèi)量檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)，科磊占比超50%

資料QYResearch、中科飛測(cè)招股說明書（僅用于市占參考）

本土廠商細(xì)分領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破，形成特色競(jìng)爭(zhēng)格局

在國(guó)產(chǎn)替代的浪潮下，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備企業(yè)正加速突圍，盡管目前國(guó)產(chǎn)廠商合計(jì)市場(chǎng)份額仍不到5%，但一批優(yōu)秀企業(yè)已在細(xì)分領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破，形成各具特色的競(jìng)爭(zhēng)格局。

中科飛測(cè)作為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體前道量檢測(cè)領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，構(gòu)建了最為全面的產(chǎn)品線布局，同時(shí)覆蓋晶圓缺陷檢測(cè)和關(guān)鍵尺寸量測(cè)等核心環(huán)節(jié)。公司的核心優(yōu)勢(shì)在于深厚的技術(shù)積累與完整的產(chǎn)品矩陣，其設(shè)備已成功進(jìn)入中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等國(guó)內(nèi)頭部晶圓廠，并獲得批量訂單，代表了國(guó)產(chǎn)替代的最高水平。不過，在 3nm 及以下先進(jìn)制程領(lǐng)域，公司產(chǎn)品仍面臨與國(guó)際巨頭的性能差距，且半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)投入大、周期長(zhǎng)，持續(xù)的高強(qiáng)度研發(fā)對(duì)其盈利能力構(gòu)成持續(xù)壓力。

上海睿勵(lì)是國(guó)內(nèi)最早專注半導(dǎo)體前道量測(cè)的拓荒者之一，其薄膜量測(cè)設(shè)備經(jīng)過長(zhǎng)期市場(chǎng)驗(yàn)證，成為細(xì)分領(lǐng)域的拳頭產(chǎn)品。依托多年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和被龍頭設(shè)備商中微公司控股的背景，上海睿勵(lì)獲得了穩(wěn)定的資金支持與產(chǎn)業(yè)資源協(xié)同，在特定量測(cè)領(lǐng)域建立了堅(jiān)實(shí)的客戶信任。但受限于產(chǎn)品線相對(duì)單一，公司在缺陷檢測(cè)等關(guān)鍵領(lǐng)域布局較弱，過去一段時(shí)期的市場(chǎng)拓展速度略顯緩慢，亟需通過技術(shù)創(chuàng)新拓寬產(chǎn)品邊界。

精測(cè)電子則憑借跨界優(yōu)勢(shì)強(qiáng)勢(shì)入局。作為顯示面板檢測(cè)設(shè)備的絕對(duì)龍頭，精測(cè)電子擁有雄厚的資金實(shí)力，穩(wěn)定的面板業(yè)務(wù)為其半導(dǎo)體業(yè)務(wù)提供了強(qiáng)大的現(xiàn)金流支撐，同時(shí)其在光學(xué)檢測(cè)、自動(dòng)化控制等領(lǐng)域的技術(shù)積累可實(shí)現(xiàn)跨領(lǐng)域協(xié)同。目前公司產(chǎn)品已涵蓋膜厚量測(cè)、關(guān)鍵尺寸量測(cè)、電子束缺陷檢測(cè)等多個(gè)品類，其中明場(chǎng)設(shè)備已完成首臺(tái)套交付，與國(guó)內(nèi)主流晶圓廠建立了合作關(guān)系。不過，作為半導(dǎo)體領(lǐng)域的新進(jìn)入者，其在前道量檢測(cè)核心技術(shù)的沉淀深度與國(guó)際品牌的認(rèn)可度仍有待提升，面臨面板業(yè)務(wù)與半導(dǎo)體業(yè)務(wù)雙線作戰(zhàn)的激烈競(jìng)爭(zhēng)壓力。

天準(zhǔn)科技的突圍路徑則聚焦于技術(shù)融合創(chuàng)新。公司源自工業(yè)機(jī)器視覺領(lǐng)域，通過戰(zhàn)略并購(gòu)獲得了半導(dǎo)體前道量檢測(cè)的高起點(diǎn)技術(shù)平臺(tái)，尤其擅長(zhǎng)將先進(jìn)的 AI 算法與機(jī)器視覺技術(shù)相結(jié)合，為核心技術(shù)平臺(tái)的國(guó)產(chǎn)化與智能化賦能。在 AI 驅(qū)動(dòng)檢測(cè)的趨勢(shì)下，這種技術(shù)融合能力成為重要競(jìng)爭(zhēng)力，但半導(dǎo)體制造工藝復(fù)雜度極高，公司仍需快速深化對(duì)半導(dǎo)體工藝的理解，同時(shí)完成跨國(guó)技術(shù)整合與團(tuán)隊(duì)融合，才能在要求嚴(yán)苛的半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域站穩(wěn)腳跟。

除了這些行業(yè)中堅(jiān)力量，一批新銳企業(yè)正以技術(shù)創(chuàng)新打破現(xiàn)有格局。大連創(chuàng)銳光譜深耕第三代半導(dǎo)體缺陷檢測(cè)領(lǐng)域，其推出的 SiC-MAPPING532 系統(tǒng)是國(guó)際首臺(tái)套基于瞬態(tài)光譜技術(shù)的第三代半導(dǎo)體缺陷檢測(cè)設(shè)備，實(shí)現(xiàn)了碳化硅襯底位錯(cuò)缺陷的無損檢測(cè)，目前已進(jìn)入國(guó)內(nèi)頭部客戶體系并實(shí)現(xiàn)海外交付，成為少數(shù)出口高端檢測(cè)設(shè)備的本土企業(yè)；深圳新凱來則通過全方位布局，在灣芯展上集中展出包括光學(xué)檢測(cè)設(shè)備在內(nèi)的16款產(chǎn)品，覆蓋半導(dǎo)體制造前道全環(huán)節(jié)，其旗下子公司萬里眼推出的90GHz超高速實(shí)時(shí)示波器，打破《瓦森納協(xié)定》的技術(shù)封鎖，支持 3-5nm 制程芯片測(cè)試，補(bǔ)齊了高端測(cè)試設(shè)備的國(guó)內(nèi)空白。

在第三方檢測(cè)服務(wù)領(lǐng)域，勝科納米等企業(yè)也實(shí)現(xiàn)了快速成長(zhǎng)。2025 年上半年，勝科納米實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入 2.39 億元，同比增長(zhǎng) 29.03%，在失效分析、材料分析等細(xì)分領(lǐng)域占據(jù)領(lǐng)先地位，2024 年國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率約為 7.44%，成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈專業(yè)化分工趨勢(shì)下的重要受益者。

展望未來，半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)將在技術(shù)迭代與國(guó)產(chǎn)替代的雙重驅(qū)動(dòng)下持續(xù)增長(zhǎng)。一方面，制程微縮、材料創(chuàng)新與封裝工藝復(fù)雜化將推動(dòng)檢測(cè)設(shè)備向更高精度、更快速度、更智能化方向發(fā)展，AI 算法、無損檢測(cè)、多維度融合檢測(cè)等技術(shù)將成為競(jìng)爭(zhēng)核心；另一方面，國(guó)內(nèi)晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)需求與國(guó)產(chǎn)化替代政策紅利疊加，將為本土企業(yè)提供廣闊的市場(chǎng)空間。盡管國(guó)際巨頭的壟斷格局短期內(nèi)難以徹底改變，但隨著國(guó)內(nèi)企業(yè)在技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)品迭代、客戶服務(wù)等方面的持續(xù)突破，國(guó)產(chǎn)量檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)份額有望穩(wěn)步提升，從細(xì)分領(lǐng)域替代走向全面競(jìng)爭(zhēng)，逐步構(gòu)建自主可控的半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈，為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供核心支撐。正如行業(yè)人士所言，中國(guó)是全世界最大的芯片試煉場(chǎng)，也必將成為全球半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新的重要一極，量檢測(cè)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)突圍之路，正是這一進(jìn)程的生動(dòng)縮影。