12 月 2 日消息，ASML 在官網紀念品商城上架了一款特殊的產品：世界首型 High NA EUV 光刻系統 TWINSCAN EXE:5000 的樂高模型套裝。

TWINSCAN EXE:5000 光刻機是首款采用 0.55NA 數值孔徑的光刻機，其分辨率達 8nm，成像對比度較此前的 NXE 系列 0.33NA EUV 系統高 40%，支持 2nm 邏輯節點圖案化，單價達 3.5 億歐元（備注：當前約 26.8 億元人民幣）。

▲ 左側為實物，右側為樂高模型

▲ 模型另一側

▲ 桌面效果

該樂高套裝由 ASML 開發人員 —— 同樣也是樂高愛好者 —— Rick Lenssen 設計，擁有 851 個部件，寬高深三維 352×99×64 mm，定價 227.95 美元（當前約 1653 元人民幣）。

Rick Lenssen 此前曾耗時合計 2.5 年（1.5 年設計藍圖、1 年實際組裝）用樂高積木復現了 ASML 的費爾德霍芬主園區，還推出過多款 ASML 主題的樂高套裝產品。

▲ ASML 費爾德霍芬主園區。圖源 Rick Lenssen 個人網站，下同

▲ ASML 老 Building (1)

▲ ASML 費爾德霍芬園區部分建筑